alei 发表于 2011-3-18 21:49:26

喜事

扩散                  平面光刻工艺                     离子注入

图一.5台机器，6个步骤的微型FAB工艺流程示意图

微型FAB包括在3种不同的机器组，6个步骤的工艺流程和2种产品晶片和试验晶片。在每个机器组，步骤4，5，6处都是一个再进入入口。机器组包括扩散—C1（2个机器Ma和Mb），离子注入－C2（2个机器Mc和Md）和平面光刻技术－C3（一个机器Me）。
求大家用extendsim7仿真谢谢邮箱641395644@163.com
页: [1]
查看完整版本: 喜事