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扩散                    平面光刻工艺                       离子注入

图一.5台机器，6个步骤的微型FAB工艺流程示意图
; N& q+ j, G" s9 {& n! O) L- b$ A/ ^
) ~  w9 G4 j, k微型FAB包括在3种不同的机器组，6个步骤的工艺流程和2种产品晶片和试验晶片。在每个机器组，步骤4，5，6处都是一个再进入入口。机器组包括扩散—C1（2个机器Ma和Mb），离子注入－C2（2个机器Mc和Md）和平面光刻技术－C3（一个机器Me）。
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